好科（上海）環保科技有限公司為光纖、光電等采用氣相沉積工藝生產的行業提供環保節能配套工程的整體解決方案。對于其配套的1）粉塵的干法回收和氣力輸送、2）廢氣的吸收處理和再利用、3）廢酸的處理和再利用，4）刻蝕酸洗槽及化學介質分配系統，5）余熱利用等環保節能設備，好科科技提供整套的系統設計、制造、建設和運維工作。
好科科技氣相沉積工藝環保節能綜合解決方案
工藝段 | 配套工藝 | 配套設備 | 說明 |
VAD/OVD氣相沉積 | 干法除塵+ | 布袋除塵器 | 高溫耐腐蝕、超低排放<5mg/m3 |
降溫+ | 蒸發降溫塔 | ||
鹽酸回收+ | HCl吸收塔 | 回收鹽酸濃度 >15%wt | |
尾氣堿液吸收 | 堿液吸收塔 | HCl排放濃度<5mg/m3 | |
PCVD/MCVD氣相沉積 | 濕法除塵+ | 噴霧除塵器 | |
氯氣吸收 | 氯氣吸收塔 | Cl2排放濃度<5mg/m3 | |
八甲基硅烷氣相沉積 | 干法除塵+ | 布袋除塵器 | SS304不銹鋼 |
余熱回收 | 熱管換熱器 | >90℃熱水或飽和蒸汽 | |
粉塵處理 | 正壓稀相氣力輸送 | 接料流化器 | |
料倉設備 | |||
光纖拉絲 | 有機廢氣吸附 | 活性炭纖維濾筒 | |
活性炭吸附箱 | |||
預制棒刻蝕 | 氫氟酸刻蝕+ | 刻蝕槽 | 立式、臥式；旋轉輥輪 |
化學藥劑分配箱 | 氫氟酸等化學藥劑添加 | ||
氟化氫吸收+ | HF吸收塔 | 臥式、立式填料塔 | |
含氟廢酸處理 | 廢酸處理系統 | 中和沉淀法 [F-]排放<10mg/L | |
廢水零排放 | 稀鹽酸濃縮 | 蒸發濃縮器 | >20%濃鹽酸 |
吸收液蒸發 | 多效蒸發、MVR | NaCl晶體 | |
含氟廢液 | 反應蒸發系統 | 高純度NaF晶體副產品 |
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